碳化硅研磨砂的特性与材质作用说明

    常用的碳化硅研磨砂有两种不同的晶体，一种是绿碳化硅，含SiC97%以上，主要用于磨硬质含金工具。另一种是黑碳化硅，有金属光泽，含SiC95%以上，强度比黑碳化硅大，但硬度较高，主要用于磨铸铁和非金属材料。

    磨削硬脆材料时，碳化硅磨料对其有滚动或微切削作用。当碳化硅磨粒作用在有不平整和裂纹的外表时，随着磨削过程，在磨削载荷的作用下，一些磨粒被压入工件，显露的刀尖用来刮擦刻工件外表停止微切削。另一局部SiC磨粒在工件和磨盘之间滚动产生滚动作用，使工件外表构成微裂纹，裂纹扩展使工件外表构成脆性切屑，从而达到外表清洁的目的。

    由于硬脆材料的抗拉强度小于抗压强度，当磨粒加载时，硬脆资料外表的拉应力会产生微裂纹。当纵横交织的裂痕延伸并互相穿插时，裂痕所包围的部位就会断裂，断裂成小块。这是磨削硬脆资料时切屑构成和外表构成的根本过程。

    碳化硅是一种高硬度脆性资料，需求特殊的磨削液。碳化硅磨削的主要技术难点在于高硬度材料减薄厚度的准确丈量和控制。磨削后，晶片外表呈现损伤、微裂纹和剩余应力。减薄后，碳化硅晶圆会呈现比碳化硅晶片更大的翘曲现象。